公司由中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合资成立于2008年3月，投资4500万元。 主要从事半导体设备、太阳能光伏设备、液晶湿制成设备、真空设备的研发、技术推广与生产销售。 公司通过与国际知名公司的广泛合作，目前已形成湿法清洗系统，刻蚀系统，CDS系统，尾气处理系统的四大系列数十种型号的产品，广泛应用于大规模集成电路、电力电子器件、分立器件、光电子器件、MEMS和太阳能电池等领域，以优质的产品和优良的服务赢得了各界用户的赞许和信赖。 经营范围：半导体清洗设备、太阳能光伏设备组装、生产、设计、研发、销售，以及相关技术推广；自营和代理上述商品及技术的进出口业务。