2003年初上海华谊集团公司从调整产品结构的战略高度出发，结合国内集成电路用超纯试剂需求量，决定组建一家专门生产超高纯电子化学品的公司。上海华谊微电子材料有限公司是由上海华谊（集团）公司和著名的电子化学品公司—联仕(ashland)电子化学材料股份有限公司联手成立的合资企业，其投资比例为华谊集团50%,联仕50%。是目前为止中国家，世界第五家，年产万吨级的超净高纯的电子化学品公司。

2006年上海华谊微电子材料有限公司建成。该项目的投资总额超过了1.72亿元人民币，上海华谊微电子材料有限公司生产大规模集成电路所需的超净、高纯硫酸、硝酸、盐酸、醋酸、氨水、氟化铵、双氧水(和boe)等各种主要化学品，其规模可达到年产15000吨，本企业的产品符合semi c12（ppb级) 标准，满足12英寸芯片的超大规模集成电路制造工艺的要求，同时也生产满足电子化学试剂规格的产品。

公司装备了国际水平的分析检测仪器和高纯特氟隆内衬设备、洁净包装室等特殊专用设施。超纯水由法国著名水务公司威立雅(veolia)设计、安装施工、调试，各项指标均持平或超过芯片超纯水的水平。在10级洁净室中主要实验设备有：agilent icp-ms（7500cs电感耦合等离子质谱 仪）、perkinelmer icp-oes（全谱直读等离子体发射光谱仪 ）、美国热电aas（原子吸收光谱）；1000级一般实验室为：戴安公司ic（离子色谱）、梅特勒自动电位滴定仪、水份滴定仪、导津公司toc（总碳测定仪）、cem公司微波消解仪、浊度仪等等。
2011年7月，我们转为外商独资企业，直属于联仕电子化学材料有限公司，注册资金增2.32亿人民币。