1974年美国Varian创立Cryopump Business，从此确立在Semicon行业的地位，1991年Varian将此业务售于日本Ebara Technologies，2001年Genesis Vacuum Technologies买入此业务，Base在San Jose，2002年韩国，日本分公司相继成立。
Genesis Vacuum Technologies（Suzhou）Inc，苏州捷纳思真空设备贸易有限公司，成立于2007年1月，专注于真空技术领域，Focus在Semicon，LCD，OLED，航天，Vacuum coating，R&D等领域。
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