高精度吉时利 6517静电计/高阻表技术指标：
高的电流测量灵敏度1×10-17A；
高的电阻(率)直接测量能力5×10-17Ω；
准确度、灵敏度、功能、优于任何其他公司的高
阻计/静电计。
测量范围：
电流(10-17~10-2A)；
电压(10-6~102/104V)；
温度(-190~1350℃)；
电阻(10-1~1017Ω)；
电荷(10-15~10-6C)；
湿度(0.3%~)
主要性能：
输入阻抗大于2×1014Ω；
输入端压降小于20μV；
仪器内部温度湿度补偿；
已备1kV精密程控电压源，小步长5mV；
测量数据可作为t,T,H的函数；
六位半弱电流和高阻电压测量分辩率；
小信号带宽100kHz；
直接测体/表面电阻率1018Ωcm,1017Ω/口；
噪声小于7.5×10-16A；
具有十通道测量扩展能力；
快速弱电流测量125点/秒；
多参数同时测量和显示；
带IEEE-488.2接口和RS-232接口；
前放输出(阻抗转换)和模拟输出；
长可驱动300米电缆；
数据存储(15K,Max),触发联接技术
选 件：
8009-体/表面电阻率测试箱；
8002A-元器件测试箱；
6521/6522-十通道低漏电流扫描卡；
6517-RH-湿度探头；
KPC-488.2AT-IEEE-488.2接口卡；
TESTPOINT-测控软件包；
SC-9(22)-二(三)同轴低噪声电缆；
6103C-40KVDC输入分压探头；
237-TRX-NG-三槽三同轴BNC转接器；
5156-校准源；
6524-高阻、体/表面电阻率测试软件包，新变电压
极性法增强高阻测试能力
软件支持：
与617静电计兼容，SCPI命令；
6524高阻、体/表面电阻率测试软件；
有LABVIEW和TESTPOINT软件所驱动程序；
多种编程举例；
内置九个标准测试程序：
二级管漏电流测试；
电容漏电测试；
表面绝缘电阻测试；
电缆绝缘电阻测试；
方波扫描测试；
电阻电压系数测试；
体电阻率测试；
表面电阻率测试；
阶梯波扫描测试
62/65系统：
62系统适用于高阻元器件测试，包括6517A高阻计，8002A元器件测试盒，6524软件及电缆附件；
65系统适用于高阻材料测试，包括6517A高阻计8009电阻率测试盒，6524软件及电缆附件
技 术 指 标
电 流
量 程 五位半分辩率 精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年) 温度系数0℃~18℃&28℃~50℃±(读数的%+字)/℃
20pA 100aA 1+30 0.1+5
200pA 1fA 1+5 0.1+1
2nA 10fA 0.2+30 0.1+2
20nA 100fA 0.2+5 0.03+1
200nA 1pA 0.2+5 0.03+1
2μA 10pA 0.1+10 0.005+2
20μA 100pA 0.1+5 0.005+1
200μA 1nA 0.1+5 0.005+1
2mA 10nA 0.1+10 0.008+2
20mA 100nA 0.1+5 0.008+1
电 阻
量 程 五位半分辩率 精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年) 温度系数 测量电压 电流量程
2MΩ 10Ω 0.125+1 0.01+3 40V 200μA
20MΩ 100Ω 0.125+1 0.01+1 40V 20μA
200MΩ 1kΩ 0.15+1 0.015+1 40V 2μA
2GΩ 10kΩ 0.225+1 0.035+1 40V 200nA
20GΩ 100kΩ 0.225+1 0.035+1 40V 20nA
200GΩ 1MΩ 0.35+1 0.110+1 40V 2nA
2TΩ 10MΩ 1.35+1 0.110+1 400V 2nA
20TΩ 100MΩ 1.025+1 0.105+1 400V 200pA
200TΩ 1GΩ 1.15+1 1.125+1 400V 20pA
电 荷
量 程 五位半分辩率 精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年) 温度系数0℃~18℃&28℃~50℃±(读数的%+字)/℃
2nC 10fC 0.4+5 0.04+3
20nC 100fC 0.4+5 0.04+1
200nC 1pC 0.4+5 0.04+1
2μC 10pC 0.4+5 0.04+1
电 压
量 程 五位半分辩率 精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年) 温度系数0℃~18℃&28℃~50℃±(读数的%+字)/℃
2V 10μV 0.025+4 0.003+2
20V 100μV 0.025+3 0.002+1
200V 1mV 0.06+3 0.002+1
温度(热电偶)
热电偶类型 量 程 精度18℃~28℃±(读数的%+字)(1年)
K -190℃~1350℃ ±(0.27%±1℃)
相对湿度
量 程 精度18℃~28℃±(读数的%+相对湿度%)(1年)
0~ ±(0.3%±0.5)
电 压 源
量 程 五位半分辩率 精度18℃~28℃±(设置的%+偏置)(1年) 温度系数0℃~18℃&28℃~50℃
±(设置的%+偏置)/℃
100V 5mV 0.15+10mV 0.005+1mV
1000V 50mV 0.15+100mV 0.005+10mV
