干涉显微镜 6JA（上海光学仪器厂 上光新光学）
测量精密零件，如平面、圆柱等表面粗糙度(光洁度),也可以测量表面刻线、镀层深度等，利用附件还能测量微颗粒、加工纹路、或低反射率的表面，也能将仪器安置在大型工件上进行测量，是计量室和经典教学仪器之一。
不平深度测量范围：1～0.03µm (光洁度▽10～▽14)
放大倍数：500×,分划值0.01mm,测微目镜分划0.1mm.
绿色干涉滤光片：波长λ≈5300À,半宽度▽λ≈100À.
标准镜：高反射率≈60%,低反射率≈4%.
选配：摄影摄像与图像处理与分析软件.
