| KYKY-EM3200系列 | |||||||||
| 经济型扫描电子显微镜 | |||||||||
| 项目 | EM3200 | EM3200Z | EM3200A | EM3200AZ | |||||
| 分辨率 | 6.0nm(30KV) | ||||||||
| 放大倍数 | 1.5x~250,000x | ||||||||
| 电子***类型 | 发叉式钨丝阴极 | ||||||||
| 加速电压 | 0~30KV | ||||||||
| 透镜系统 | 三级电磁透镜 | ||||||||
| 物镜光阑 | 三个光阑可在真空外选择调节 | ||||||||
| 样品台 | 手动 | X/Y轴自动 | 手动 | X/Y轴自动 | |||||
| 行程 | X | 0~50mm(大样品台0~80mm) | |||||||
| Y | 0~50mm | ||||||||
| Z | 0~25mm(大样品台0~30mm) | ||||||||
| R | 360º | ||||||||
| T | ‘-5º ~90º （大样品0º~90º） | ||||||||
| 探测器 | 二次电子探测器，背散射电子探测器（可选），X-ray能谱仪（可选） | ||||||||
| 真空系统 | 扩散泵 | 扩散泵 | 分子泵 | 分子泵 | |||||
| KYKY-EM3200 Seria SEM | |||||||||
| Type | EM3200 | EM3200Z | EM3200A | EM3200AZ | |||||
| Resolution | 6.0nm(30KV) | ||||||||
| Magnifation | 1.5x~250,000x | ||||||||
| Electron Gun | Hair fork tungsten cathode | ||||||||
| Accel Voltage | 0~30KV | ||||||||
| Lens System | Level 3 electromagnetic lens | ||||||||
| Lens Isis | three diaphragm can be adjusted without vacuum | ||||||||
| Stage | Manually | X/Y axis automatic | Manually | X/Y轴自动 | |||||
| Move range | X | 0~50mm(large stage 0~80mm) | |||||||
| Y | 0~50mm | ||||||||
| Z | 0~25mm(large stage 0~30mm) | ||||||||
| R | 360º | ||||||||
| T | ‘-5º ~90º （large stage 0º~90º） | ||||||||
| Detector | secondary electron detector，backscattered electron detector （optional），X-ray Energy Disperse Spectroscopy（optional） | ||||||||
| Vacuum System | diffusion pump | diffusion pump | molecular pump | molecular pump | |||||
产品说明：
KYKY-EM3200系列扫描电镜在电气控制系统、计算机系统、操作控制软件、图像控制系统、图像处理软件、自动控制功能
等诸多方面都进行了改进。主要特点是稳定可靠、结构紧凑、操作方便、维护简单，是一款性价比较高的经济型电镜。
