ドライポンプと組み合わせて排気能力を向上させます。
回転数制御により大気圧からの運転を可能にしました。
高効率設計により従来機種に比べ大幅な小型化を実現しました。
気密モータを採用し信頼性を向上させました。
駆動系の改良と機械損失の低下により動力を小限に抑えました。
回転制御により大気圧状態での連続運転を可能にしたため、従来のような真空スイッチによるインターロック、大気時の時間制限等が不用となるため、使い方が簡単です。
同期モータの採用により電源周波数に関係なく、同一の排気性能が得られます。（０３シリーズ）
仕様一覧
仕様 ／ 型式 KMB603 KMB1203 KMB2003
大排気速度(L/min)* 10,000 20,000 30,000
到達圧力(Pa)* 0.5
大許容吸気口圧力(Pa) 大気圧
吸気口径 VG80 VG100 VG150
排気口径 VF65 VF100 VF150
概略質量(Kg) 85 110 230
電源電圧 3相 AC200～220V 50/60Hz
運転時動力(kW)** 0.3 0.4 0.8
電源容量(kVA) 4.0 6.5 11.1
冷却水量 3L/min以上
N2流量 0 or 20SCCM
*性能は弊社推奨ドライポンプとの組み合わせ時の値です。
**到達圧力時の運転動力。
排気性能曲線
外観寸法図 (KMB603，KMB1203)
外観寸法図 (KMB2003)
性能向上に伴い、内容を変更することがありますので、あらかじめご了承ください。
本カタログに記載しています製品を日本国外に輸出する際は外国為替及び外国貿易管理法に基づく判定が必要となりますので、弊社の営業部門に必ずお問合せ下さい。
