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光束整形器可将(准)高斯分布的入射激光转变成任意波前形状的激光输出(圆形，方形，正方形和线性)，光束光强分布均匀，具有陡峭的边缘。均匀分布的光斑在光处理过程中具有很大的优势，可以有效排除特殊区域的过量曝光或曝光不足。另外，陡峭的光束边缘使光处理区域和非处理区域的界限更加明显。
光束整形器可以分为：光束聚焦整形器，角光束整形器(平顶分布)和M整形器。
光束聚焦镜对入射光斑进行相位调制，在焦平面附近几微米内获得平顶光斑
角光束整形器可在无穷远或无相差,透镜焦距位置形成平顶光分布;M整形器可产生M型强度截面，在特定工作面产生陡峭的边缘
