AOP平台是Solarius灵活的针对各种定制测量任务的模块化解决方案。根据需求，它可以配备不同的3D测量传感器，多种尺寸的线性马达以及定制化软件。这样的灵活性支持广范围的多样化应用及工作环境，可以根据每个客户的需求量身定制。
| 传感器类型 | 彩色共聚焦点传感器 彩色共聚焦线传感器 共聚焦矩阵传感器 白光干涉矩阵传感器 变焦矩阵传感器 点三角传感器 线三角传感器 |
| 平面测量范围 | 500mm x 500mm |
| 垂直测量范围 | 100 µm 80 mm |
| 平面分辨率 | 1um |
| 垂直分辨率 | 1纳米 |
| 供货范围 | 标准系统 轴及控制器 根据规格配置传感器 系统PC，笔记本电脑 Solar Scan NT软件，Win10 x64 Solar Map数据分析软件 定制化图像处理方案 自动化测量路径 |
模块化的AOP系统可配置多种无损测量传感器，包括光谱共聚焦点、线传感器、共聚焦面传感器、激光三角线传感器、白光干涉传感器以及二维平面成像系统，可以实现10nm的高度分辨率以及在0.13s内高达80,000点的高速测量。的隔振系统以及高达500mm以上的水平测量范围使得其成为应对各种测量任务的解决方案。
