全固态266 nm的紫外激光器广泛用于紫外光固化，微电子，光盘雕刻，激光医疗，科学实验等
波长Wavelength (nm) | 266±1 | |
输出功率 Output Power (mW) | 1-200 | |
线宽Spectral Linewidth (nm) | <3 | |
工作方式 Operating Mode | 脉冲 | |
单脉冲能量(μJ) | 0.1~10 | |
重复速率(kHz) | 可操控的 | 固定重复速率，例如1k,2k,3k,4kHz,稳压激光器脉冲发射(稳定脉冲能量,峰值,持续时间和周期)。 |
不同的重复速率在1kHz-4kHz的范围内可以通过输入一个外部TTL信号取得。 | ||
不可操控的 | 在4k-10kHz范围内不确定的重复速率和激光器不稳定脉冲发射。需要高峰值能量脉冲以适合应用程序。 | |
光斑模式 Beam Mode | 横模 Transverse | Near TE00 |
纵模 Longitude | Multi-longitude | |
偏振方式 Polarization | Line polarization | |
偏振比Polarization Ratio | >100:1 | |
光束质量Beam Quality (M2 factor) | <20 | |
光束发散角Beam Divergence (full angle, mrad) | ~2.0 | |
光束直径Beam Diameter at Aperture (mm) | 2.0 | |
光束指向稳定性 Beam pointing stability（mrad） | <0.05 | |
功率稳定性Power Stability (RMS, over 8 hours) | <5%,<10% | |
振幅稳定性Noise of Amplitude (P-P)/噪声值 | <3% | |
